下载一种芯片老化测试装置的技术资料

文档序号:40397477

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本申请涉及芯片生产技术领域,尤其涉及一种芯片老化测试装置;针对测试效率不高的问题,所采用的方案包括:底座、测试室;测试室包括主室体、活动底板;主室体与底座固定;主室体的内部空间由多组子空间组成;活动底板固设有多组电路板;待测芯片安装在电路板...
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