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本发明属于自动化技术领域，公开了一种输送线上晶棒端面斜度在线检测装置。装置设置在晶棒输送线上方，装置包括支架，支架上设置用于对中晶棒的对中机构，对中机构的两端分别设置用于检测晶棒两端端面斜度的头端检测机构、尾端检测机构，对中机构上还设置直线...
该专利属于连智（大连）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连智（大连）智能科技有限公司授权不得商用。

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