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本发明属于大功率集成电子散热技术领域，特别涉及一种可集成式玻璃基高效微流道热沉。本发明的热沉包括通过键合构成的上平板玻璃和下平板玻璃；上平板玻璃的中间区域刻蚀有的TGV通孔，两端刻蚀有液态散热工质的入口通孔和出口通孔，TGV通孔内填充高导热...
该专利属于中国电子科技集团公司第十研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十研究所授权不得商用。

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