下载一种原子层沉积设备真空腔的技术资料

文档序号:40393742

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种原子层沉积设备真空腔,包括上筒体、下筒体以及冷却管路;上筒体设置在下筒体上,上筒体与下筒体形成真空腔室;真空腔室内设置有反应腔室,反应腔室的外壁上设置有加热装置,加热装置用以对反应腔室加热;冷却管路中设置有流动的冷却液...
该专利属于南京原磊纳米材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京原磊纳米材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。