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无基材金属网格的制作方法技术
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下载无基材金属网格的制作方法的技术资料
文档序号:40392519
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本申请提供一种无基材金属网格的制作方法,包括以下步骤:在基材上溅镀形成金属种子层;在金属种子层上覆盖光阻层;利用黄光微影技术,在光阻层中形成将部分的金属种子层露出的多个开口区域;通过开口区域,使露出的金属种子层氧化;在开口区域内电镀形成金属...
该专利属于业成光电(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过业成光电(深圳)有限公司授权不得商用。
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