温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种3D堆栈崁入式电子器件封装结构,包括:布置在硅基材中的无源电容结构;布置在硅基材上的硅基材介质层;以及通过粘合层布置在硅基材上的硅基材介质层上的芯片,其中芯片上布置有形成电连接端口的介质层。本技术将无源器件集成在诸如晶圆的硅...该专利属于盛合晶微半导体(江阴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛合晶微半导体(江阴)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种3D堆栈崁入式电子器件封装结构,包括:布置在硅基材中的无源电容结构;布置在硅基材上的硅基材介质层;以及通过粘合层布置在硅基材上的硅基材介质层上的芯片,其中芯片上布置有形成电连接端口的介质层。本技术将无源器件集成在诸如晶圆的硅...