下载一种JFET与MOSFET兼容的半导体器件结构的技术资料

文档序号:40391834

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本发明涉及一种JFET与MOSFET兼容的半导体器件结构,在N型衬底(1)上设置P+埋层(3)及N外延(2),一侧N外延中设置P阱(4)、P+隔离区(5)和N型NLDD轻掺杂区(13),一个轻掺杂区设有N型源区(17)、另一个设有N型漏区(...
该专利属于华东光电集成器件研究所所有,仅供学习研究参考,未经过华东光电集成器件研究所授权不得商用。

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