温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及铝氮化物层的制造方法(METHOD OF MANUFACTURING AN ALUMINUM NITRIDE LAYER)，该方法包括：准备生长基板的步骤；在生长基板上生长Al<subgt;1‑v‑w</subgt;G...
该专利属于威弗洛得有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威弗洛得有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。