温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及了薄膜制备技术领域，具体的说是一种薄膜制备装置和系统，包括高真空传输腔，所述高真空传输腔通过超高真空插板阀连接超高真空物理气相沉积室A、超高真空物理气相沉积室B、超高真空电子束蒸发室和超高真空氧化室，超高真空物理气相沉积室A与超高...
该专利属于合肥致真精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥致真精密设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。