下载一种无腐蚀型光阻剥除剂的技术资料

文档序号:40384792

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本发明公开了一种无腐蚀型光阻剥除剂,包括如下重量份的组分:有机胺、有机溶剂、有机碱类渗透催化剂和缓释剂组合物;所述的缓释剂组合物包括组分A和组分B;所述的组分A为五元环或六元环的含氮杂环类化合物;所述的组分B为镧系元素的硫酸盐,醋酸盐或硝酸...
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