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本发明涉及一种多晶硅还原炉底座密封垫片及制作工艺。密封垫片包括中芯层以及表面垫层；中芯层为不锈钢材质制成；表面垫层原料如下，硅橡胶、丁腈橡胶、石墨粉末、硫化剂、抗老化剂、偶联剂、促进剂、氧化金属类助剂、二氧化硅、稳定剂。制作工艺，包括以下步...
该专利属于河北意福源新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北意福源新材料科技有限公司授权不得商用。

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