下载纵列堆叠的高压Micro LED芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:40378542

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本发明公开了纵列堆叠的高压Micro LED芯片及其制作方法。所述芯片从下到上依次包括第二芯片、胶键合层、第一芯片和钝化层;第一芯片和第二芯片包括衬底、LED发光层和透明导电层;LED发光层包括N型GaN层、多量子阱和P型GaN层。刻蚀表面...
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