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一种谐振式体波力传感器敏感单元结构制造技术
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下载一种谐振式体波力传感器敏感单元结构的技术资料
文档序号:40373949
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本技术涉及一种谐振式体波力传感器敏感单元结构,包括上承载体、压电芯片和下承载体,所述的上承载体与下承载体上下对称叠放设置,所述的上承载体与下承载体之间拼接形成腔体,该腔体内部安装有压电芯片,所述的压电芯片上设有芯片电极,所述的腔体上下贯通,...
该专利属于台晶(宁波)电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台晶(宁波)电子有限公司授权不得商用。
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