下载一种射频器件、电子设备及其制备方法的技术资料

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本公开提供一种射频器件、电子设备及其制备方法,射频器件的制备方法包括:提供一衬底,衬底上包括第一区域和第二区域;在第一区域形成包括器件模块质量负载层和第一空腔的器件模块裸片,第一空腔中填充有第一牺牲层;在第二区域形成包括第二空腔的测试模块裸...
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