一种射频器件、电子设备及其制备方法技术

本公开提供一种射频器件、电子设备及其制备方法，射频器件的制备方法包括：提供一衬底，衬底上包括第一区域和第二区域；在第一区域形成包括器件模块质量负载层和第一空腔的器件模块裸片，第一空腔中填充有第一牺牲层；在第二区域形成包括第二空腔的测试模块裸片，第二空腔中填充有第二牺牲层；去除第二牺牲层，释放第二空腔后，根据测试模块裸片的测试结果修调器件模块裸片中的器件模块质量负载层；器件模块裸片中的器件模块质量负载层修调完成后，去除第一牺牲层，释放第一空腔。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及电子领域，具体而言，涉及一种射频器件、电子设备及其制备方法。

技术介绍

1、随着第四代移动通信技术(4g)的普及和第五代移动通信技术(5g)操作的普及，对射频滤波器的性能要求变得更加严格。fbar滤波器由于具有尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，使其在射频前端领域，尤其是在射频滤波器市场占据的份额越来越大。现有技术中薄膜体声波谐振器是构成fbar滤波器的基础组件。

2、请参考图1，图1为现有具有空腔的薄膜体声波谐振器的结构示意图。如图1中所示，薄膜体声波谐振器包括载体100、形成在载体100中的空腔101，空腔101构成薄膜体声波谐振器的声反射区域。

3、薄膜体声波谐振器还具有覆盖在载体100上表面的功能结构层，功能结构层包括下电极103、上电极105、质量负载层106以及夹在上下电极(即下电极与上电极)之间的压电层104等结构层。制作过程中，空腔101的形成通常是通过在载体100上形成凹槽，在凹槽中填充牺牲层，然后在功能结构层的表面形成释放孔，以及释放孔至牺牲层表面上形成释放通道，通过所述释本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种射频器件的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：测试模块的数量根据视频器件的带宽精度、器件模块裸片的面积和成品率确定。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于：测试模块裸片均匀分布在器件模块裸片之间的第二区域上。

4.如权利要求1-3中任一项所述的制备方法，其特征在于：第二区域包括衬底上的切割线区域。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：当衬底上共有N个测试模块裸片时，分步测试的次数根据需求设定为M次，其中N和M均为自然数且为整数。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种射频器件的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：测试模块的数量根据视频器件的带宽精度、器件模块裸片的面积和成品率确定。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于：测试模块裸片均匀分布在器件模块裸片之间的第二区域上。

4.如权利要求1-3中任一项所述的制备方法，其特征在于：第二区域包括衬底上的切割线区域。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：当衬底上共有n个测试模块裸片时，分步测试的次数根据需求设定为m次，其中n和m均为自然数且为整数。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于：分步测试时，各次在衬底上挑选的个测试模块裸片的组合在衬底上的均匀性相当。

7.如权利要求1-3、5-6中任一项所述的制备方法，其特征在于：在第一区域还包括在第一空腔上方形成的包括器件模块下电极、器件模块压电层、器件模块上电极与器件模块质量负载层的结构层，其中器件模块上电极与器件模块质量负载层一体形成或分立形成；

8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于：第一空腔上方的结...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐滨，赖志国，杨清华，
申请(专利权)人：苏州汉天下电子有限公司，
类型：发明
国别省市：