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提供一种MBE衬底载具，包括托板，托板的外周为圆柱形，托板从径向外侧向径向内侧形成圆柱形的第一收容凹部、圆柱形的第二收容凹部和圆柱形的第三通孔。第一收容凹部的直径大于第二收容凹部的直径，第二收容凹部的直径大于第三通孔的直径，第一收容凹部、第...
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