下载硒源加热裂解装置的技术资料

文档序号:40364511

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本公开涉及一种硒源加热裂解装置,包括:加热单元,包括盒体、坩埚和第一加热组件,盒体包括密闭的空腔以及与空腔连通的至少一个喷口,坩埚设于所述空腔中,第一加热组件设于盒体,用于在第一预设温度将坩埚中的硒料加热成硒蒸气;以及裂解单元,包括裂解管以...
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