【技术实现步骤摘要】
本公开涉及薄膜太阳能电池制备，具体地，涉及一种硒源加热裂解装置。
技术介绍
1、铜铟镓硒(cigs)薄膜电池是一种质量功率比高、稳定性好的太阳能光伏材料，被普遍认为是最具发展前景的柔性太阳能电池材料。多元共蒸法是最广泛应用的cigs镀膜方法，利用铜、铟、镓、硒各元素共蒸，在基底表面反应形成多晶镀层。蒸汽镀膜的方式无法直接干预，只能通过蒸发源的蒸发气体控制来间接控制镀膜层的质量，蒸发源的稳定与否直接影响镀膜层的质量。
2、相关技术中，硒源加热蒸硒装置包括硒盒，开设于硒盒顶面的硒蒸气喷口，硒盒的顶面或者侧面顶部设有可开合的硒源加料口，硒盒的顶面上方贴设有加热器硒蒸气从硒源上表面蒸发生成，生成的硒蒸气，由于硒盒内的硒料采用上部加热器加热，加热温度一般在300℃左右，该加热装置蒸发出来的硒蒸气多为大分子sen(n≥5)，导致硒与金属反应时的活性不高、硒消耗量大、硒蒸气控制不稳定而影响薄膜结晶质量和电学特性。
技术实现思路
1、本公开的目的是提供一种硒源加热裂解装置，该硒源加热裂解装置用以至少部分解决硒反应时的活性不高、硒消耗量大、硒蒸气控制不稳定而影响薄膜结晶质量和电学特性的技术问题。
2、为了实现上述目的，本公开提供一种硒源加热裂解装置，包括：
3、加热单元，包括盒体、坩埚和第一加热组件，所述盒体包括密闭的空腔以及与所述空腔连通的至少一个喷口，所述坩埚设于所述空腔中，所述第一加热组件设于所述盒体，用于在第一预设温度将所述坩埚中的硒料加热成硒蒸气；以及<...
【技术保护点】
1.一种硒源加热裂解装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述硒源加热裂解装置还包括设于所述坩埚内的导热栅板组件，所述导热栅板组件用于将所述第一加热组件的热量传递给所述坩埚内的硒料。
3.根据权利要求2所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述喷口的数量为一个，且设置在第一方向的所述盒体的对应于所述坩埚的中部位置；
4.根据权利要求3所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，当所述喷口为一个时，由所述导热栅板组件的中心向一侧方向，多个所述导热栅板的顶部共面，形成沿远离所中心方向逐渐向下倾斜的斜面，该斜面与水平面的夹角为30-60°。
5.根据权利要求4所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，多个所述导热栅板的底部相互连通。
6.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述裂解管的延伸方向与水平面之间的夹角为30-90°。
7.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述喷口设于所述盒体的上侧壁，所述第一加热组件设于所述盒体的所述空腔的上方。
8.根
9.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述第二加热组件包括：
10.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述坩埚可拆卸地设于所述空腔，所述盒体的侧壁设有用于供所述坩埚取放的开口，所述开口安装有可打开的密封门。
...【技术特征摘要】
1.一种硒源加热裂解装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述硒源加热裂解装置还包括设于所述坩埚内的导热栅板组件，所述导热栅板组件用于将所述第一加热组件的热量传递给所述坩埚内的硒料。
3.根据权利要求2所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，所述喷口的数量为一个，且设置在第一方向的所述盒体的对应于所述坩埚的中部位置；
4.根据权利要求3所述的硒源加热裂解装置，其特征在于，当所述喷口为一个时，由所述导热栅板组件的中心向一侧方向，多个所述导热栅板的顶部共面，形成沿远离所中心方向逐渐向下倾斜的斜面，该斜面与水平面的夹角为30-60°。
5.根据权利要求4所述的硒源加热裂解装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵明，李博研，钟大龙，赵子铭，
申请(专利权)人：国家能源投资集团有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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