下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:40364388

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本公开实施例提供一种半导体结构及其制备方法,涉及半导体技术领域,用于解决半导体结构性能差的技术问题,该半导体结构包括基底以及设置在基底上的位线结构;位线结构包括掺杂层、导电层和隔离结构,掺杂层设置在基底上,且掺杂层的电阻小于导电层的电阻;隔...
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