下载湿法槽式设备烘干槽加快烘干结构的技术资料

文档序号:40363080

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种湿法槽式设备烘干槽加快烘干结构,湿法槽式设备中设有硅片烘干槽,所述硅片烘干槽包括槽体,所述槽体的上方安装有花篮底杆以及装设于所述花篮底杆上的花篮本体;包括:进风机构,用于产生流动的气流;连通所述进风机构的的进气管路;装设于所...
该专利属于釜川(无锡)智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过釜川(无锡)智能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。