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本发明是一种碎屑判定方法，使用通过外观检查装置得到的图像判定在晶圆背面的硬激光标记(HLM)的周边产生的碎屑，该方法包含：根据通过外观检查装置得到的灰阶图像算出基准亮度的工序；从灰阶图像提取包含HLM的印字区域的工序；从印字区域将HLM的点...
该专利属于信越半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体株式会社授权不得商用。

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