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本发明涉及的是一种ＣｄＴｅ薄膜太阳能电池欧姆接触背电极的制造方法，属于无机非金属材料器件制造工艺领域。该背电极为ＣｕｘＯ／Ｃｕ复合电极，电极结构如图所示；电极制备方法是：采用磁控溅射仪在ＣｄＴｅ薄膜上溅射电极，溅射靶材为高纯Ｃｕ电极；溅射时...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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