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具有改进的帽的MEMS器件及其制造工艺制造技术
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下载具有改进的帽的MEMS器件及其制造工艺的技术资料
文档序号:40358572
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一种电子器件包括:MEMS传感器器件,MEMS传感器器件包括将化学量或物理量转换为对应电学量的功能结构;帽,帽包括半导电衬底;以及将帽机械耦合到MEMS传感器器件的键合介电区域。帽还包括导电区域,导电区域在半导电衬底与MEMS传感器器件之间...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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