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本公开涉及一种氧化硅薄膜的制备方法及半导体结构。该制备方法包括：提供前驱体溶液，用所述前驱体溶液形成初始前驱体；对所述初始前驱体进行微波处理；对微波处理后的所述初始前驱体进行氮等离子体处理得到前驱体；在水汽环境下对所述前驱体进行退火，形成氧...
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