下载沟槽MOSFET接触孔开路缺陷的测试方法的技术资料

文档序号:40350760

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本申请提供一种沟槽MOSFET接触孔开路缺陷的测试方法,包括:步骤一,提供待测试的沟槽MOSFET;步骤二,测试该沟槽MOSFET的阈值电压或栅极驱动漏电流;步骤三,步骤二结束后,立即测试该沟槽MOSFET的漏源击穿电压或漏极截止电流。通过...
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