温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开实施例公开了晶圆的缺陷类型检测方法、装置、设备及计算机存储介质，晶圆的缺陷类型检测方法可以包括：获取缺陷晶圆的目标高度图中的第一初始像素点的Nano值，并将Nano值最大的第一初始像素点作为目标像素点，其中，第一初始像素点的Nano值...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。