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本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及其制作方法和电子设备，将上电极和下电极中至少之一者设置为第一电极层和第二电极层的叠加结构，能够通过降低电极的电阻值来提高薄膜体声波谐振器的Q值。在第一电极层和第二电极层之间设置声波限定层，以将声波限定在薄膜...
该专利属于浙江星曜半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江星曜半导体有限公司授权不得商用。

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