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一种基于氮化物半导体的谐振腔发光器件制造技术
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下载一种基于氮化物半导体的谐振腔发光器件的技术资料
文档序号:40329913
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本技术公开了一种基于氮化物半导体的谐振腔发光器件,包括:依次设置的支撑基板、第一反射镜、位于同层的透明导电层和电流限制层、外延层以及位于同层的第二反射镜和第二电极;第二反射镜设于外延层的上表面中部,第二电极设于外延层的上表面两侧;透明导电层...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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