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本发明涉及偏航轴科里奥利振动陀螺仪的正交微调垂直电极。描述了具有平面外正交微调电极的微机电系统(MEMS)偏航陀螺仪。陀螺仪包括被配置为在平面内被驱动的检验质量块。检验质量块包括一个开口或多个开口。平面外正交微调电极被定位为在投影平面中与开...
该专利属于美国亚德诺半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国亚德诺半导体公司授权不得商用。

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