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本技术涉及一种套件组合式晶体基片承载台，所述承载台包括台座；所述承载台还包括钼环、钼片，所述台座上设置有环状槽，所述钼环与台座上的环状槽相匹，其嵌在台座上的环状槽内，与台座之间形成一凹槽，所述钼片与钼环相匹，其设置在钼环内、支撑在台座上。解...
该专利属于江苏卓远半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏卓远半导体有限公司授权不得商用。

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