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本技术属于单晶炉技术领域。鉴于现有的拉晶过程中可能发生漏水爆炸事故的问题，本技术公开了一种单晶炉保护装置，包括水冷屏，设置在单晶炉中；其中，所述水冷屏设置在所述单晶炉的石英锅的上方；所述水冷屏的底部设有保护板；所述保护板设有和所述水冷屏的孔...
该专利属于四川永祥硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥硅材料有限公司授权不得商用。

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