温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种载片翘曲后自动矫正推片装置，涉及半导体生产技术领域。本发明包括工作台；还包括两组间隔对称设置的矫正组件；矫正组件包括侧板、传送带、导向板、下矫正板和上矫正板；侧板竖向固定在工作台上；传送带水平设置在侧板内侧；导向板固定在侧板...
该专利属于青岛新松机器人自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛新松机器人自动化有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。