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本技术涉及半导体工艺技术领域，尤其是涉及一种半导体设备维保防护装置，其包括：防护主体，与抽速口连接，防护主体与反应腔上设置有抽速口的部位相贴合，且覆盖于抽速口，以切断反应腔和涡轮泵的连通；防护主体朝向抽速口的一面形成有凸出的定位部，定位部能...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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