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本发明适用于化工技术领域，具体涉及一种用于金属合金的化学机械抛光组合物及抛光方法。该组合物包含氧化铝磨粒、氧化剂、分散剂、pH调节剂，其中，所述分散剂为纳米粘土，所述纳米粘土具有至多1000nm的z平均粒径。本发明提供的CMP组合物能用于金...
该专利属于昂士特科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂士特科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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