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本发明是一种碎屑判定方法，根据通过外观检查装置得到的图像判定在晶圆背面的HLM周边产生的碎屑，该方法将图像的亮度数据置换为矩阵数据，提取HLM的印字区域，求出亮度的最小平方面，从印字区域减去最小平方面而求出标准化矩阵数据，将0代入该小于0的...
该专利属于信越半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体株式会社授权不得商用。

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