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本发明公开了一种硅片晶圆边缘抛光装置，包括：防护框架，其中部水平固定装配有支撑板，所述支撑板前侧面两端分别固定装配有输入输送带以及输出输送带，所述输入输送带以及输出输送带镜像设置，且其内侧均放置有一组晶圆移动机构，两组所述晶圆移动机构镜像设...
该专利属于苏州博宏源机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博宏源机械制造有限公司授权不得商用。

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