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本发明提供一种系统及方法，通过本发明提出以成像平面镜状物体（１０２），诸如：半导体晶圆。于实施例中，用于成像于平面镜状物体（１０２）的缺陷的一种成像系统（１００）包括远心透镜（１１０），其具有充分非球面表面，使远心透镜实质修正光学像差。成像...
该专利属于伊雷克托科学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊雷克托科学工业股份有限公司授权不得商用。

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