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本发明提供了一种干式抛光装置，包括底座、支架、滑动安装板、平移驱动部、旋转支撑部、承载台、抛光轴及干抛轮，其中：平移驱动部设置在底座上；滑动安装板滑动连接在底座上并与平移驱动部的驱动端连接，平移驱动部用于驱动滑动安装板平移；旋转支撑部安装在...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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