下载快速拆检的单晶硅压阻式压力传感器的技术资料

文档序号:40320779

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本技术涉及压阻式压力传感器技术领域,且公开了快速拆检的单晶硅压阻式压力传感器,包括传感器外壳,传感器外壳侧部对称分布的若干组金属脚,传感器外壳顶部开口设置的传感器顶盖,传感器顶盖中心部固设的气管,传感器顶盖表面矩形开设的若干组开孔以及传感器...
该专利属于浙江中微自控设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江中微自控设备有限公司授权不得商用。

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