下载超结碳化硅晶体管的结构、制造方法及电子设备的技术资料

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一种超结碳化硅晶体管的结构、制造方法及电子设备,属于半导体技术领域,包括左右对称的两个子场效应管结构和多个第二有源层,左右对称的切面为矢状面,所述子场效应管结构包括衬底、漂移层、第一阱、半导体柱、第一有源层以及栅极结构;漂移层设置于衬底的上...
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