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本发明属于化学机械抛光领域，提出了一种具有催化活性的复合抛光磨粒及其制备方法，该复合抛光磨粒包括二氧化硅磨粒以及负载在所述二氧化硅磨粒上的活性组分，所述活性组分用于提供所述二氧化硅磨粒的催化活性，所述二氧化硅磨粒为实心磨粒或介孔磨粒，且所述...
该专利属于甬江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过甬江实验室授权不得商用。

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