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本申请实施例提供了一种复合薄膜及其制备方法，对功能注入片进行第一次退火处理，待功能注入片与衬底键合后再进行第二次退火处理使注入层断裂，薄膜层转移至衬底上，形成复合薄膜。在第一次退火处理时可使功能注入片的注入层内的离子产生气泡，从而使第二次退...
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