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本发明提供了一种晶圆背面清洗方法和装置，所述晶圆背面清洗方法包括：将晶圆吸附在晶圆承载台上；晶圆背面的第一喷嘴向晶圆背面喷洒清洗液，同时所述晶圆承载台控制晶圆转动；移动清洗刷，使所述清洗刷接触晶圆背面靠近晶圆边缘的位置，以清洗晶圆背面的周侧...
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