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一种改进型平面栅MOSFET及制备方法技术
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文档序号:40317490
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本发明提供了一种改进型平面栅MOSFET及制备方法,该MOSFET包括:二氧化硅介质层;所述二氧化硅介质层处于平面栅下方的区域,被栅极氧化层和漂移层包覆。本发明通过添加二氧化硅介质层结构,在随着MOSFET器件工作环境温度的升高,器件会出现...
该专利属于深圳天狼芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳天狼芯半导体有限公司授权不得商用。
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