下载一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置的技术资料

文档序号:40316540

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本发明公开了一种样品表面超痕量杂质的激光剥蚀质谱的检测方法及检测装置,所述检测方法包括:准备标样;送入样品池;预设总剥蚀次数为N,标样剥蚀次数之和为N<subgt;0</subgt;,N<subgt;0</subgt...
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