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本发明公开了三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，它包括以下步骤：（１）将合成三氯氢硅产生的尾气送入吸收塔，吸收塔采用两段吸收，吸收塔的塔顶排出的氢气冷却后的液相组分回流至吸收塔顶，吸收塔的塔釜排出的粗氯硅烷和氯化氢经换热后汇同氯硅烷冷凝液共同...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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