三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法技术

本发明专利技术公开了三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，它包括以下步骤：（１）将合成三氯氢硅产生的尾气送入吸收塔，吸收塔采用两段吸收，吸收塔的塔顶排出的氢气冷却后的液相组分回流至吸收塔顶，吸收塔的塔釜排出的粗氯硅烷和氯化氢经换热后汇同氯硅烷冷凝液共同送入精馏塔精馏；（２）精馏塔的塔顶馏分经冷凝后的液相全部回流同时气相进入深冷器冷凝后以液相采出氯化氢，深冷器中采出的气相混合物返回吸收塔作为进料；（３）精馏塔的塔釜出料一部分进入粗氯硅烷精馏系统，另一部分冷却后返回吸收塔作为步骤（１）中的主吸收液。采用单塔两段吸收和精馏组成的回收系统，可以得到高纯度的氢气、氯化氢和氯硅烷，彻底消除了尾气排放。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种尾气绿色环保回收利用方法，特别是涉及三氯氢硅尾气绿色环保 回收利用方法。
技术介绍
三氯氢硅是一种重要的化工原料，可用于生产硅烷偶联剂和制备多晶硅，随着多 晶硅产量的不断攀升，对三氯氢硅的需求量不断扩大。三氯氢硅是由氯化氢与硅粉在0. 12 0. 20MPa (绝压)，250 350°C的反应条件 下，在流化床反应器中进行合成的。反应的方程式为Si+3HCl == HSiCl3+H2，主要的副反 应为Si+4HC1 == SiCl4+2H2，另外还有少量的二氯二氢硅生成。为了使硅粉反应完全，一 股氯化氢在反应器中有5%-10%过量，因此三氯氢硅合成气中主要含有三氯氢硅、四氯化 硅、二氯二氢硅、氢气和未反应的氯化氢，一股的组成(表1)为(wt. % ) 从表中可以看出，氢气和氯化氢含量较高，具有很高的回收利用价值。三氯氢硅合成气经旋风、袋式除尘后经过循环水冷凝、冷冻水冷凝、压缩冷凝一系 列操作后冷凝到_35°C，气液分离后形成以三氯氢硅、四氯化硅为主的氯硅烷冷凝液和以氢 气、氯化氢为主的冷凝尾气，其典型组成(表2)为 传统的工艺是将氯硅烷冷凝液送入精制系统，而对尾气本文档来自技高网...

【技术保护点】
三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于它包括以下步骤：（１）将合成三氯氢硅产生的尾气送入吸收塔，所述的吸收塔采用两段吸收，主吸收液为脱除氢气和氯化氢后的粗氯硅烷，副吸收剂为四氯化硅，副吸收剂在进入吸收塔前与第二氯化氢膨胀致冷器换热冷却后进入吸收塔，所述的吸收塔的塔顶排出的氢气经第一氯化氢膨胀制冷冷却器冷却后的液相组分回流至吸收塔顶，所述的吸收塔的塔釜排出的粗氯硅烷和氯化氢经第一换热器换热后汇同经第二换热器换热后的氯硅烷冷凝液共同送入精馏塔精馏；（２）所述的精馏塔的塔顶馏分进入精馏塔顶设置的分凝器冷凝，经分凝器冷凝后的液相全部回流同时气相进入深冷器冷凝后以液相采出氯化氢，深冷器中采出的含有...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许春建，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]