下载开环硅基压力传感器厚膜电路的技术资料

文档序号:4031640

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一种开环硅基压力传感器厚膜电路,属于压力传感器技术领域,其特征是,包括陶瓷基片,陶瓷基片上阵列设置多个补偿板,补偿板之间连接,每个补偿板上设有一个装配孔,装配孔周围设有探测针孔,在补偿板上印刷或激光刻蚀有电路。本发明采用陶瓷基片替代PCB板...
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