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固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管技术
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下载固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管的技术资料
文档序号:40315548
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一种固定电荷控制方法,为对半导体元件中使用的绝缘膜内的固定电荷进行控制的方法,所述方法中,在所述绝缘膜的表面形成金属膜,经由所述金属膜对所述绝缘膜进行离子注入,由此在所述绝缘膜中显现出固定电荷。...
该专利属于日新电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日新电机株式会社授权不得商用。
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