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本发明涉及一种机电驱动装置(1)，其包括能够相对于彼此移动的两个单元(2，3)。本发明的目的在于指定单元(2，3)的定位移动并且消除或者至少减轻连带运动分量对驱动装置(1)的功能的影响并且因此确保驱动装置(1)的功能性。这实现为在于机电驱动...该专利属于物理仪器（PI）两合有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过物理仪器（PI）两合有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种机电驱动装置(1)，其包括能够相对于彼此移动的两个单元(2，3)。本发明的目的在于指定单元(2，3)的定位移动并且消除或者至少减轻连带运动分量对驱动装置(1)的功能的影响并且因此确保驱动装置(1)的功能性。这实现为在于机电驱动...